フィルムマスク

		フィルム
製品規格	材料	ポリエステル
	基板サイズ	～28″ × 32″ （711.2 × 812.8 mm）
	描画サイズ	600 × 700 mm
	最小線幅	30 μm
	線幅精度	±3 μm～
	位置精度	±10 μm / 100 mm
	欠陥許容値	20 μm ≧

受入れ可能フォーマット

DXFデータ
ガーバーデータ	RS-274D, RS-274X 等
ストリームデータ	GDS II 等
その他 CADデータ	FineVision, AutoCAD, 画像データ等
グラフィックソフトデータ	Illustrator 等

• データ送受信: FTPサーバー, E-mail, その他の通信手段はご相談下さい。
• 対応可能メディア: CD, DVD, USB