クロムマスク

最高レベルの画像品質と
位置精度を必要とする
大型フォトマスク (1400×1500)を
ご提供します!!

SPECIFICATIONS

最大描画エリア Maximum drawing area(mm)	1350 × 1450
描画モード Write Mode	I	II	III
最小寸法 Minimum structure size(µm)	0.75	1	2
解像度 Address grid(nm)	12.5	25	50
直線性 Edge roughness(3σ, nm)	40	50	70
CD 均一性 CD uniformity(3σ, nm)	65	75	110
繰り返し位置精度 Alignment measurement accuracy(3σ, nm)	90	140	200
相対重ね精度 Overlay accuracy(3σ, nm)	225	350	500

受入れ可能フォーマット

DXFデータ
ガーバーデータ	RS-274D, RS-274X 等
ストリームデータ	GDS II 等
その他 CADデータ	FineVision, AutoCAD, 画像データ等
グラフィックソフトデータ	Illustrator 等

• データ送受信: FTPサーバー, E-mail, その他の通信手段はご相談下さい。
• 対応可能メディア: CD, DVD, USB

大型ソーダガラスで“線幅1µm以下”をパターンニング可能

『線幅1.0μｍパターンニング技術（ソーダライムガラス）』

大型ソーダガラス（800㎜×1092㎜）全面に微細な描画パターンを安定し解像が可能に

これまでは2.0μｍまでが限界でしたが、技術向上により1.0μｍまでの解像が可能となりました。