スクリーン印刷を通して 豊かな社会の実現に貢献する

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フォトマスク

最新鋭の技術と装置により多様なニーズにお応えします


規格 \ マスク種 フィルム エマルジョン クロム
基材規格 材 料 ポリエステル ソーダライム ソーダライム 合成石英
品 種 FUJI IP-L , IP-R Konica HY2 / FUJI UM-G ULCOAT / CLEAN SURFACE        AZ シリーズ
熱膨張係数 1.0 × 10-3 % / ℃ 8.1 × 10-6m / ℃ 8.1 × 10-6m / ℃ 0.5 × 10-6m / ℃
1メートル換算 10μ / ℃ 8.1μ / ℃ 8.1μ / ℃ 0.5μ / ℃
湿度膨張係数 1.1 × 10-3 % ≒ 0 ≒ 0 ≒ 0
1メートル換算 11μ /10% ≒ 0 ≒ 0 ≒ 0
平 面 性 ------ 200 mR 〜 300 mR 小板 5 μ , 10 μ / サイズ , 大板 14μ / 100mm
透 明 度 73 〜 78 % ( 360 nm ) 82 % ( 365 nm ) 83 % ( 365 nm ) 90 % ( 200 nm )
膜面規格 膜 厚 5.0 〜 5.3 μ 7.0 μ 1000 〜 1250 Å
膜 質 銀塩ゼラチン乳剤 銀塩ゼラチン乳剤 低反射クロム二層膜 ( Cr + CrO )
反 射 率 ------ ------ 10 % ± 2.0 ( 436nm )
光 学 濃 度 4.0 OD≦ 3.0 OD≦ 3.0 OD ± 0.3 ( 450nm )
製品規格 基板サイズ 〜 32" × 54.3"
( 812.8 × 1379.2 )
〜 36" × 58"
( 914.4 × 1473.2 )
〜1200 × 1700
描画サイズ 800 × 1350 900 × 1460 1060 × 1650
最 小 線 幅 20 μ 10 μ 5 μ 5 μ
線 幅 精 度 ± 3 μ , ± 5 μ , ±10 μ ± 2 μ , ± 3 μ ± 0.5 μ , ± 1 μ , ± 2 μ
長 寸 法 精 度 ± 10 μ / 100 mm ± 10 μ ± 2 μ , ± 3 μ , ± 5 μ , ± 10 μ
欠陥許容値 10 μ 10 μ 10 μ



マスクレギュラーサイズ
厚み
1.0mm 1.5mm 2.3mm 3.0mm 5.0mm 5.0mm以上
サイズ 4"×4" 2.5"×2.5" 3"×3" 6"×10" 9"×9" 6"×6"
5"×5" 3"×3" 4"×4" 6"×6" 10"×10"
4"×4" 5"×5" 7"×7" 11"×11"
5"×5" 6"×6" 8"×10" 12"×12"
6"×6" 11"×14" 8"×8" 14"×14"
17"×17" 9"×9" 16"×20"
10"×10" 17"×17"
11"×11" 24"×24"
12"×12" 24"×25"
14"×14" 24"×28"
14"×17" 28"×32"
200mm〜各種 28"×32"
32"×43"
 32"×54.3"
36"×58"
300mm〜各種
※上記サイズ以外も対応しておりますのでお問い合わせ下さい。



マスクレギュラーサイズ
厚み
1.6mm 2.3mm 3.0mm 5.0mm
サイズ 3"×3" 5"×5" 14"×14" 14"×14"
4"×4" 8"×10" 14"×17" 20"×24"
5"×5" 14"×17" 17"×17" 24"×28"
8"×10" 17"×17" 17"×24" 24"×32"
16"×20" 32"×43"
20"×24"  32"×54.3"
36"×58"
※上記サイズ以外も対応しておりますのでお問い合わせ下さい。


  受入れ可能データフォーマット                                  
DXFデータ AC1018(2004 R18)まで
ガーバーデータ RS-274D、RS-274X、CSI、ODB++、DPF等
ストリームデータ GDSUファイル
その他 CADデータ MEDUSA、FineVision、AutoCAD、CAM350等
NCプログラムデータ Excellonフォーマット、日立精工フォーマット等
グラフィックソフトデータ Illustrator、Canvas等
●データ送受信FTPサーバー、E-mail その他の通信手段はご相談下さい。
●対応可能メディア CD、DVD、MO、FD、DDS その他             





フォトマスクのメッシュ